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- Titel:
Modeling Distributed Electrostatic Effects in Silicon Microphones and Their Impact on the Performance
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Textbeitrag / Aufsatz
- Autor(en):
- Künzig, T.; Schrag, G.; Dehe, A.; Wachutka, G.
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII and Cyber Physical Systems
- Kongress / Zusatzinformationen:
- SPIE
- Jahr:
- 2015
- Seiten:
- 9517L1-9517L6
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