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- Titel:
Optimierung industrieller Mikrosysteme mit Hilfe maßgeschneideter Modelle: Systemsimulationen eines Silizium-Mikrophons
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Schrag, G.; Kuenzig, T.; Wachutka, G.
- Seitenangaben Beitrag:
- pp. 793-796
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of MikroSystemTechnik Kongress (VDE) 2017
- Kongress / Zusatzinformationen:
- München, Deutschland, 2017
- Datum der Konferenz:
- 23 -25. Oktober2017
- Jahr:
- 2017
- Jahr / Monat:
- 2017-10
- Monat:
- Oct
- Seiten:
- pp. 793-796
- Sprache:
- de
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
- Eingabe:
- 23.10.2018
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