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- Titel:
A Comb-Based Capacitive MEMS Microphone with High Signal-to-Noise Ratio: Modeling and Noise-Level-Analysis
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Autor(en):
- Anzinger, S.; Manz, J.; Dehe, A.; Schrag, G.
- Kongress- / Buchtitel:
- Proceedings of the Eurosensors 2017/Multidisciplinary Publishing Institute Proceedings, Vol. 1, 2017
- Kongress / Zusatzinformationen:
- Paris, France
- Band / Teilband / Volume:
- Vol. 1
- Datum der Konferenz:
- 3–6 September 2017
- Jahr:
- 2017
- Jahr / Monat:
- 2017-09
- Monat:
- Sep
- Seiten:
- pp. 346
- Sprache:
- en
- TUM Einrichtung:
- Lehrstuhl für Technische Elekrophysik
- Eingabe:
- 29.12.2017
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