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- Title:
Optimierung industrieller Mikrosysteme mit Hilfe maßgeschneideter Modelle: Systemsimulationen eines Silizium-Mikrophons
- Document type:
- Konferenzbeitrag
- Contribution type:
- Vortrag / Präsentation
- Author(s):
- Schrag, G.; Kuenzig, T.; Wachutka, G.
- Pages contribution:
- pp. 793-796
- Book / Congress title:
- Proceedings of MikroSystemTechnik Kongress (VDE) 2017
- Congress (additional information):
- München, Deutschland, 2017
- Date of congress:
- 23 -25. Oktober2017
- Year:
- 2017
- Year / month:
- 2017-10
- Month:
- Oct
- Pages:
- pp. 793-796
- Language:
- de
- TUM Institution:
- Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
- Ingested:
- 23.10.2018
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