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Titel:

A novel silicon "star-comb" microphone concept for enhanced signal-to-ratio: modeling, design and first prototype

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Vortrag / Präsentation
Autor(en):
Manz, J.; Bosetti, G.; Dehe, A.; Schrag, G
Seitenangaben Beitrag:
pp. 69-70
Kongress- / Buchtitel:
Proceedings of 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems 2017
Kongress / Zusatzinformationen:
Kaohsiung, Taiwan (Transducers)
Datum der Konferenz:
18-22 June2017
Jahr:
2017
Jahr / Monat:
2017-06
Monat:
Jun
Seiten:
pp. 69-70
Sprache:
en
TUM Einrichtung:
Lehrstuhl für Technische Elektrophysik
Eingabe:
23.10.2018
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