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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Poster
- Autor(en):
- Daniel Schiwietz
- Titel:
- Temperature Dependence of Quality Factors at High Frequencies in MEMS Gyroscopes
- Kongress- / Buchtitel:
- The 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2023)
- Publikationsdatum:
- 16.01.2023
- Jahr:
- 2023
- WWW:
- https://mems23.org
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