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Document type:
Konferenzbeitrag 
Author(s):
Ashour, M.; Weig, E.M.; Caspers, J.N. 
Title:
FEM-Abschätzung für die Stabilität eines opto-mechanischen Phasenschiebers 
Book / Congress title:
MikroSystemTechnik Kongress 2019, P9.7 P9 Entwurfsmethoden und Simulationen 
Congress (additional information):
Berlin, Germany, 28-30 Oct 2019 2019-10 
Publisher:
Verein Deutscher Ingenieure VDI 
Year:
2019 
Year / month:
2019-10 
Month:
Oct 
Language:
de