Die oben genannte Arbeit beschäftigt sich mit der Darstellung und Charakterisierung von superharten Nanokompositen bestehend aus nc-TiN/a-nc-TiSix/a-Si3N4. Für die Darstellung der superharten Schichten wurde neben einem bestehenden P CVD (´Plasma Chemical Vapour Deposition´) Prozess zusätzlich eine Apparatur für reaktive Zerstäubung aufgebaut und verwendet. Die Charakterisierung erfolgte in chemischer sowie auch in physikalischer Hinsicht. Bei der chemischen Analyse wurde insbesondere der Einfluss von Sauerstoffverunreinigungen in den Schichten auf deren Eigenschaften untersucht. Aufgrund geringster Sauerstoffkonzentrationen in den Schichten wurde eine erhebliche Abnahme der plastischen Härte fesgestellt. Zudem wurde in der Arbeit die thermische Stabilität der dargestellten Nanokomposite eingehend untersucht.     «

Die oben genannte Arbeit beschäftigt sich mit der Darstellung und Charakterisierung von superharten Nanokompositen bestehend aus nc-TiN/a-nc-TiSix/a-Si3N4. Für die Darstellung der superharten Schichten wurde neben einem bestehenden P CVD (´Plasma Chemical Vapour Deposition´) Prozess zusätzlich eine Apparatur für reaktive Zerstäubung aufgebaut und verwendet. Die Charakterisierung erfolgte in chemischer sowie auch in physikalischer Hinsicht. Bei der chemischen Analyse wurde insbesondere der Einflu...     »

In the PHD-work named above is worked out the production and characterization of superhard nanocomposites out of nc-TiN/a-nc-TiSix/a-Si3N4. For the production of the superhard layers was beside an existing P CVD (´Plasma Chemical Vapor Deposition´) an equipment for reactive sputtering built and additionally used. The characterization took place in chemical as well as also in physical sense. With the chemical analysis, the influence of oxygen-impurities was especially examined in the layers for their qualities. On the basis of lowest oxygen-concentrations in the layers, a considerable decrease of the plastic hardness was observed. Moreover, the thermal stability of the represented nanocomposites was examined and worked out in detail.     «

In the PHD-work named above is worked out the production and characterization of superhard nanocomposites out of nc-TiN/a-nc-TiSix/a-Si3N4. For the production of the superhard layers was beside an existing P CVD (´Plasma Chemical Vapor Deposition´) an equipment for reactive sputtering built and additionally used. The characterization took place in chemical as well as also in physical sense. With the chemical analysis, the influence of oxygen-impurities was especially examined in the layers for t...     »