Optomechanics with high-stress silicon nitride resonators
Translated title:
Optomechanik mit stark verspannten Siliziumnitridresonatoren
Author:
Hoch, David Christopher Julian
Year:
2023
Document type:
Dissertation
Faculty/School:
TUM School of Natural Sciences
Advisor:
Poot, Menno (Prof. Dr.)
Referee:
Poot, Menno (Prof. Dr.); Holleitner, Alexander (Prof. Dr.)
Language:
en
Subject group:
PHY Physik
TUM classification:
TEC 030; PHY 370
Abstract:
In this work optomechanical experiments on high-stress silicon nitride resonators are presented. These resonators are realized in a photonic integrated circuit platform. The work includes the nanofabrication of the micro-chips and the building and characterization of the measurement setups. In particular, the experiments include two-dimensional mode-shape mapping on membranes and the stress-tuning on predisplaced micro-beams.
Translated abstract:
In dieser Arbeit werden optomechanische Experimente an stark verspannten Siliziumnitridresonatoren vorgestellt. Diese Resonatoren sind in integrierten photonischen Schaltkreisen verwirklicht. Die Arbeit beinhaltet die Nanofabrikation der Mikrochips und den Aufbau und die Charakterisierung der Messaufbauten. Insbesondere beinhalten die Experimente das Abbilden der zweidimensionalen Modenformen von Membranen und das Abstimmen der Verspannung von vorversetzten Mikrobalken.
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