Das geplante Upgrade des CRESST-Experiments zielt darauf ab, Hunderte von Detektoren einzusetzen, die mit Transition-Edge-Sensoren (TES) ausgestattet sind. Der untersuchte Sputterprozess ermöglicht eine zuverlässigere und wesentlich schnellere TES-Herstellung. Diese Arbeit erklärt den Einfluss der Prozessparameter auf den Tc sowie einige Designaspekte, die für die genaue Abstimmung des Tc erforderlich sind. Dank eines neuen Ansatzes ist es nun möglich, TESs mit noch nie dagewesener Reproduzierbarkeit herzustellen.
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Das geplante Upgrade des CRESST-Experiments zielt darauf ab, Hunderte von Detektoren einzusetzen, die mit Transition-Edge-Sensoren (TES) ausgestattet sind. Der untersuchte Sputterprozess ermöglicht eine zuverlässigere und wesentlich schnellere TES-Herstellung. Diese Arbeit erklärt den Einfluss der Prozessparameter auf den Tc sowie einige Designaspekte, die für die genaue Abstimmung des Tc erforderlich sind. Dank eines neuen Ansatzes ist es nun möglich, TESs mit noch nie dagewesener Reproduzierba...
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