In this thesis we present the first successful on-chip detection of quantum light, thereby demonstrating the monolithic integration of superconducting single photon detectors with individually addressable semiconductor quantum dots in a prototypical quantum photonic circuit. Therefore, we optimized both the deposition of high quality superconducting NbN thin films on GaAs substrates and the fabrication of superconducting detectors and successfully integrated these novel devices with GaAs/AlGaAs ridge waveguides loaded with self-assembled InGaAs quantum dots.     «

In this thesis we present the first successful on-chip detection of quantum light, thereby demonstrating the monolithic integration of superconducting single photon detectors with individually addressable semiconductor quantum dots in a prototypical quantum photonic circuit. Therefore, we optimized both the deposition of high quality superconducting NbN thin films on GaAs substrates and the fabrication of superconducting detectors and successfully integrated these novel devices with GaAs/AlGaAs...     »

Durch die monolithische Integration von supraleitenden Einzelphotonendetektoren mit individuell adressierbaren Halbleiter Quantenpunkten, präsentieren wir in dieser Arbeit die erste erfolgreiche Erzeugung, Verteilung und Detektion von Quantenlicht auf einem Chip. Dafür haben wir das Wachstum von dünnen, supraleitenden NbN Filmen auf GaAs optimiert und die Fabrikation von supraleitenden Detektoren etabliert. Somit konnten wir diese neuartigen Bauelemente erfolgreich mit GaAs/AlGaAs Wellenleitern und selbstorganisierten InGaAs Quantenpunkten integrieren.     «

Durch die monolithische Integration von supraleitenden Einzelphotonendetektoren mit individuell adressierbaren Halbleiter Quantenpunkten, präsentieren wir in dieser Arbeit die erste erfolgreiche Erzeugung, Verteilung und Detektion von Quantenlicht auf einem Chip. Dafür haben wir das Wachstum von dünnen, supraleitenden NbN Filmen auf GaAs optimiert und die Fabrikation von supraleitenden Detektoren etabliert. Somit konnten wir diese neuartigen Bauelemente erfolgreich mit GaAs/AlGaAs Wellenleitern...     »