Der Mikroelektronik Shrinkprozess und wachsende Kanalbandbreiten erschweren den ESD Schutz von Hochfrequenzschaltungen. Mit Hilfe einer praxisnahen Leistungszahl werden im bislang umfangreichsten Vergleich die gebräuchlichsten ESD Konzepte bezüglich Hochfrequenztauglichkeit bewertet. Anschließend werden zwei neue thyristorbasierte Schutzelemente vorgestellt und detailierte Hochfrequenzmodelle dafür entwickelt. Jenseits einer oberen Frequenzgrenze, für welche ein allgemein verwertbares Kriterium hergeleitet wird, sind spezielle CODESIGN Maßnahmen erforderlich. Dazu wird für schmalbandige Anwendungen ein neues wellenleiterbasiertes Konzept vorgestellt. Erstmalig wird Bootstrapping als breitbandige Schutzmethodik im oberen einstelligen GHz Bereich erfolgreich demonstriert.
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