Nano ist klein und wird mit Größenabmessungen um 1 bis 100 Nanometer verknüpft. Demnach wechselt die Mikroelektronik durch Miniaturisierung von Abmessungen der Mikrometer- zur Nanometerskala automatisch zur Nanoelektronik. Tatsächlich ist das bereits geschehen: „Die Mikroelektronik ist […] durch intensive Forschungs- und Förderanstrengungen schon längst zur Nanoelektronik geworden”, hieß es im Jahr 2003.1