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- Document type:
- Masterarbeit
- Type detailled:
- Experimentell
- Author(s):
- Simon Buhr
- Title:
- Technologieentwicklung zum sicheren Aufbau eines normal-geschlossenen piezoelektrischen Mikroventils
- Subject:
- ELT Elektrotechnik
- Date of acceptation:
- 30.04.2016
- Year:
- 2016
- University:
- Technische Universität München
- Faculty:
- Fakultät für Elektro- und Informationstechnik
- TUM Institution:
- Fachgebiet für Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme
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