Der Einfluss verschiedener Randeinspannungen auf die Verformung oberflächen- mikrostrukturierter piezoelektrischer Mikromembranantriebe
MikroSystemTechnik Kongress 2013
2013
Piezoelectric Bulk Material for the Fabrication of Membrane Actuators Using Surface Electrodes for Actuation
Applied Mechanics and Materials
2013
Vol 404
Sep
682-687