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- Dokumenttyp:
- Masterarbeit
- Art der Studienarbeit:
- Experimentell
- Autor(en):
- Simon Buhr
- Titel:
- Technologieentwicklung zum sicheren Aufbau eines normal-geschlossenen piezoelektrischen Mikroventils
- Fachgebiet:
- ELT Elektrotechnik
- Jahr:
- 2016
- Hochschule / Universität:
- Technische Universität München
- Fakultät:
- Fakultät für Elektro- und Informationstechnik
- TUM Einrichtung:
- Fachgebiet für Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme
- Annahmedatum:
- 30.04.2016
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