Diese Arbeit befasst sich einem mathematischen Modell zur Vorhersage des Verlaufs eines Strahls aus schnellen und elektrisch geladenen Teilchen, der ein Werkstück abtastet. Aufgrund des Teilchenbeschusses lädt sich dieses elektrisch auf, was wiederum zu einer Ablenkung des Partikelstrahls führt. Zudem führen Transportprozesse zu einer langsamen Veränderung der Ladungsverteilung, was durch ein Drift-Diffusions Modell beschrieben werden kann. Neben der Entwicklung des gekoppelten Modells werden dessen grundlegende Eigenschaften untersucht und numerische Lösungsmethoden vorgestellt.
«Diese Arbeit befasst sich einem mathematischen Modell zur Vorhersage des Verlaufs eines Strahls aus schnellen und elektrisch geladenen Teilchen, der ein Werkstück abtastet. Aufgrund des Teilchenbeschusses lädt sich dieses elektrisch auf, was wiederum zu einer Ablenkung des Partikelstrahls führt. Zudem führen Transportprozesse zu einer langsamen Veränderung der Ladungsverteilung, was durch ein Drift-Diffusions Modell beschrieben werden kann. Neben der Entwicklung des gekoppelten Modells werden de...
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