A novel method for the thermal characterization of thin films is presented. Free-standing films are illuminated and the resulting temperature distribution of the films is captured in steady state or dynamically via IR microscopy. Analytical and numerical models are used to obtain parameters such as the thermal conductivity, the heat capacity, and the effective emissivity from the micrographs. The method is validated for a wide selection of materials demonstrating excellent agreement with literature.
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A novel method for the thermal characterization of thin films is presented. Free-standing films are illuminated and the resulting temperature distribution of the films is captured in steady state or dynamically via IR microscopy. Analytical and numerical models are used to obtain parameters such as the thermal conductivity, the heat capacity, and the effective emissivity from the micrographs. The method is validated for a wide selection of materials demonstrating excellent agreement with literat...
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Übersetzte Kurzfassung:
Eine neue Methode zur thermischen Charakterisierung von Dünnfilmen wird entwickelt. Freistehende Filme werden beleuchtet und die entstehende Temperaturverteilung im Gleichgewicht oder dynamisch mittels IR-Mikroskopie bestimmt. Aus diesen Aufnahmen werden die Wärmeleitfähigkeit, die Wärmekapazität und die effektive Emissivität mittels analytischer oder numerischer Methoden bestimmt. Die Ergebnisse an einer Reihe unterschiedlichster Materialien zeigen hervorragende Übereinstimmung mit der Literatur.
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Eine neue Methode zur thermischen Charakterisierung von Dünnfilmen wird entwickelt. Freistehende Filme werden beleuchtet und die entstehende Temperaturverteilung im Gleichgewicht oder dynamisch mittels IR-Mikroskopie bestimmt. Aus diesen Aufnahmen werden die Wärmeleitfähigkeit, die Wärmekapazität und die effektive Emissivität mittels analytischer oder numerischer Methoden bestimmt. Die Ergebnisse an einer Reihe unterschiedlichster Materialien zeigen hervorragende Übereinstimmung mit der Literatu...
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Serie / Reihe:
Selected topics of semiconductor physics and technology