The aim of this research work was to evaluate a novel type of control equipment – a modified UV-VIS phase modulated spectroscopic ellipsometer – during the deposition of thin inorganic layers. It was shown that the ellipsometer is able to acquire information about the properties of the deposited layers during the process in some seconds’ tact. Moreover, a detailed analysis of the deposition process of the pilot-coater, especially concerning the spatial evaporation characteristic and the time response of the deposition rate during the deposition process was achieved.     «

The aim of this research work was to evaluate a novel type of control equipment – a modified UV-VIS phase modulated spectroscopic ellipsometer – during the deposition of thin inorganic layers. It was shown that the ellipsometer is able to acquire information about the properties of the deposited layers during the process in some seconds’ tact. Moreover, a detailed analysis of the deposition process of the pilot-coater, especially concerning the spatial evaporation characteristic and the time res...     »

Das Ziel dieser Arbeit war die Bewertung der Funktion eines UV-VIS-phasen modulierten spektroskopischen Ellipsometers als neuartiges Kontrollgerät für die Erfassung der Eigenschaften von aufgedampften anorganischen Schichten direkt im Produktionsprozess. Es wurde nachgewiesen, dass die elllipsometrischen Messungen im Gegensatz zu herkömmlichen Methoden in der Lage sind, innerhalb einer Bedampfungsanlage in Zeitabständen im Sekundenbereich Informationen über die Eigenschaften der aufgedampften Schichten zu liefern. Als Resultat der Arbeit ergibt sich außerdem eine Analyse des Bedampfungsprozesses einer Pilotanlage bezüglich räumlicher Verteilung und Zeitverhalten der Aufdampfrate.     «

Das Ziel dieser Arbeit war die Bewertung der Funktion eines UV-VIS-phasen modulierten spektroskopischen Ellipsometers als neuartiges Kontrollgerät für die Erfassung der Eigenschaften von aufgedampften anorganischen Schichten direkt im Produktionsprozess. Es wurde nachgewiesen, dass die elllipsometrischen Messungen im Gegensatz zu herkömmlichen Methoden in der Lage sind, innerhalb einer Bedampfungsanlage in Zeitabständen im Sekundenbereich Informationen über die Eigenschaften der aufgedampften Sc...     »