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Original title:
On line control of transparent inorganic layers deposited on polymeric substrate by phase modulated spectroscopic ellipsometry
Translated title:
Online-Kontrolle von transparenten anorganischen Schichten aufgetragen auf polymeren Substraten mit phasen-modulierter spektroskopischer Ellipsometrie
Author:
Vaskova, Lucie
Year:
2006
Document type:
Dissertation
Institution:
Fakultät Wissenschaftszentrum Weihenstephan
Advisor:
Langowski, Horst-Christian (Prof. Dr.)
Referee:
Friedrich, Josef (Prof. Dr. Dr. habil.); Majschak, Jens-Peter (Prof. Dr.)
Format:
Text
Language:
en
Subject group:
CIT Chemie-Ingenieurwesen, Technische Chemie, Biotechnologie; LEB Lebensmitteltechnologie
Keywords:
transparent inorganic layers; silicon oxide; aluminium oxide; phase-modulated spectroscopic ellipsometry
Translated keywords:
transparente anorganische Schichten; Siliziumoxid; Aluminiumoxid; Phasenmodulierte spektroskopische Ellipsometrie
TUM classification:
CIT 700d; LEB 150d
Abstract:
The aim of this research work was to evaluate a novel type of control equipment – a modified UV-VIS phase modulated spectroscopic ellipsometer – during the deposition of thin inorganic layers. It was shown that the ellipsometer is able to acquire information about the properties of the deposited layers during the process in some seconds’ tact. Moreover, a detailed analysis of the deposition process of the pilot-coater, especially concerning the spatial evaporation characteristic and the time res...    »
Translated abstract:
Das Ziel dieser Arbeit war die Bewertung der Funktion eines UV-VIS-phasen modulierten spektroskopischen Ellipsometers als neuartiges Kontrollgerät für die Erfassung der Eigenschaften von aufgedampften anorganischen Schichten direkt im Produktionsprozess. Es wurde nachgewiesen, dass die elllipsometrischen Messungen im Gegensatz zu herkömmlichen Methoden in der Lage sind, innerhalb einer Bedampfungsanlage in Zeitabständen im Sekundenbereich Informationen über die Eigenschaften der aufgedampften Sc...    »
Publication :
Universitätsbibliothek der Technischen Universität München
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=603696
Date of submission:
02.02.2006
Oral examination:
05.04.2006
Controlled terms:
Transparentfolie Aufdampfschicht Ellipsometer
File size:
6966021 bytes
Pages:
124
Urn (citeable URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss20060510-1154109603
Last change:
15.01.2008
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