Reichweite- und Mischverteilungen niederenergetischer Kohlenstoffionen in tetraedrisch gebundenen, amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) wurden mittels hochauflösender Elastic Recoil Detection (ERD) erstmalig gemessen. Die experimentellen Reichweiteprofile sind stark asymmetrisch und signifikant breiter als die Ergebnisse aus entsprechenden TRIM.SP- bzw. klassischen molekulardynamischen Berechnungen. Die gemessenen Mischverteilungen bestätigen die gemessenen Reichweiteverteilungen. Die Ergebnisse der Arbeit bilden die Grundlage für eine entscheidende Überprüfung und Weiterentwicklung der Modellierung des Wachstums von ta-C.     «

Reichweite- und Mischverteilungen niederenergetischer Kohlenstoffionen in tetraedrisch gebundenen, amorphen Kohlenstoffschichten (ta-C) wurden mittels hochauflösender Elastic Recoil Detection (ERD) erstmalig gemessen. Die experimentellen Reichweiteprofile sind stark asymmetrisch und signifikant breiter als die Ergebnisse aus entsprechenden TRIM.SP- bzw. klassischen molekulardynamischen Berechnungen. Die gemessenen Mischverteilungen bestätigen die gemessenen Reichweiteverteilungen. Die Ergebnisse...     »

Range and mixing distributions of low-energy carbon ions in tetrahedral amorphous carbon films (ta-C) are measured utilizing high-resolution elastic recoil detection (ERD). The experimental range profiles are asymmetric and significantly broader compared to respective results from TRIM.SP calculations as well as from classical molecular dynamics simulations. The measured mixing profiles approve the measured range profiles. The results from this work allow for a crucial test and further advancement of ta-C growth modeling.     «

Range and mixing distributions of low-energy carbon ions in tetrahedral amorphous carbon films (ta-C) are measured utilizing high-resolution elastic recoil detection (ERD). The experimental range profiles are asymmetric and significantly broader compared to respective results from TRIM.SP calculations as well as from classical molecular dynamics simulations. The measured mixing profiles approve the measured range profiles. The results from this work allow for a crucial test and further advanceme...     »