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Original title:
New Substrates for Epitaxy of Group III Nitride Semiconductors
Original subtitle:
Challenges and Potential
Translated title:
Neue Substrate für die Epitaxie von Gruppe III-Nitridhalbleitern
Translated subtitle:
Challenges und Potential
Author:
Miskys, Claudio Ronald
Year:
2004
Document type:
Dissertation
Faculty/School:
Fakultät für Physik
Advisor:
Stutzmann, Martin (Prof. Dr.)
Referee:
Laubereau, Alfred (Prof. Dr. Dr.h.c.); Friedrich, Harald (Prof. Dr.)
Format:
Text
Language:
en
Subject group:
ELT Elektrotechnik; PHY Physik
Keywords:
GaN; pseudosubstrates; Laser induced liftoff; AlN heterojunction; diamond; UV-diode
Controlled terms:
Drei-Fünf-Halbleiter; Nitride; Epitaxie; Substrat
TUM classification:
PHY 693d; ELT 280d
Abstract:
To fully exploit the large application potential of group-III-nitrides, different substrates for GaN-based homo- and heteroepitaxy were investigated. Freestanding HVPE-GaN pseudo-substrates delaminated from sapphire by laser-induced liftoff is presented as an attractive alternative for GaN-based homoepitaxy. The technological applicability of the laser delamination method is further demonstrated in the production of freestanding blue/violet flich-chip bonded InGaN/GaN LEDs. Besides the GaN issue...     »
Translated abstract:
Um das große Anwendungspotential der Gruppe-III-Nitride vollständig nutzen zu können, wurden verschiedene Substrate für Homo- und Heteroepitaxie von Gruppe III-Nitriden (z.B. GaN) erforscht. Freistehende Pseudo-Substrate, hergestellt durch einen auf GaN/Saphir angewendeten Laser-Ablöseprozess, stellen eine Alternative für die GaN-basierte Homoepitaxie dar. Außerdem wurde die Flexibilität des Laser-Ablöseverfahrens in der Verarbeitung dünner InGaN/GaN-Heterostrukturen für die Produktion freistehe...     »
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=603039
Date of submission:
30.06.2004
Oral examination:
15.10.2004
File size:
14190119 bytes
Pages:
216
Urn (citeable URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss2004101514722
Last change:
21.08.2007
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