Der Fortschritt in der Halbleiterindustrie basiert u.a. auf einer Kostenreduktion pro Bauteil von 35% pro Jahr. Die Hälfte davon wird durch Shrinking, Wafervergrößerung und Ausbeuteverbesserung erreicht. Da die Technologie schon sehr weit fortgeschritten ist, müssen zukünftig 50% der Kostenreduktion durch Produktivitäts-Optimierung der Herstellung erzielt werden. Das Fachgebiet der Halbleiterproduktionstechnik beschäftigt sich mit den entsprechenden Methoden zur Beschreibung, Bewertung und Verbesserung der Produktivität einer Halbleiterfertigung. In dieser Arbeit werden zunächst die produktionstechnischen Strukturen einer Halbleiterfertigung formuliert und ein Überblick über die Methoden der Produktivitätsbestimmung und -steigerung gegeben. Für den Bereich der Planung wurde das Thema Liefertreue untersucht. Kennzahlen der Liefertreue werden als Leistungsgrößen und als Plan-Vorgaben verwendet. Um die Wechselwirkungen der Plan-Vorgaben in der internen Supply-Chain (Frontend, Backend, Delivery) einer Halbleiterfertigung zu untersuchen, wurde ein zeitdiskretes Modell entwickelt. Die Ergebnisse zeigen, dass sich die einzelnen Leistungs-Vorgaben gegenseitig beeinflussen und somit nicht unabhängig festgelegt werden können. Durch Veränderungen der Strategien konnten Verbesserungen in der resultierenden Performance erzielt werden. Um eine genauere Planung erreichen zu können, wird der Übergang von Lieferwochen hin zu tagesfeinen Zielgrößen vorgeschlagen. Für den Bereich der Steuerung und Logistik wurden Dispatch-Systeme entwickelt und untersucht. Ein Dispatch-Own-System, das die Synchronisation der Produktionsfaktoren verbessert und die Verteilung der Lose auf die Anlagen vereinfacht, wurde entwickelt und in der Praxis erprobt, wobei Prozess-Vorbereitungszeiten um mehr als 28% verkürzt werden konnten. Die Realisierung trägt nicht nur zur Verbesserung der Performance und Erhöhung der Kapazität des Workcenters bei. Sie ist darüber hinaus auch ein wichtiger Schritt in Richtung der papierlosen Fertigung (Paperless Fab). Die so genannte Dispatch-Ahead-Funktion steuert die Produktionsreihenfolge einer Arbeitsstation entsprechend der Bedürfnisse der nachfolgenden Station. Um ihre Eigenschaften zu untersuchen, wurde sie in einer Simulationsumgebung modelliert. Hierzu wurde die Software AutoMod auf ihre Verwendbarkeit in der Halbleiterfertigung getestet und nach entsprechender Anpassung Modellrechnungen durchgeführt. Es zeigte sich, dass gleichzeitig die Maschinenauslastungen erhöht und die Lagerbestände verringert werden konnten. Somit bietet die Dispatch-Funktion ein Werkzeug, um Bottleneck-Anlagen zu optimieren. Die Analysen der drei untersuchten Systeme konnten jeweils deutliche Verbesserungspotentiale aufzeigen.
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Der Fortschritt in der Halbleiterindustrie basiert u.a. auf einer Kostenreduktion pro Bauteil von 35% pro Jahr. Die Hälfte davon wird durch Shrinking, Wafervergrößerung und Ausbeuteverbesserung erreicht. Da die Technologie schon sehr weit fortgeschritten ist, müssen zukünftig 50% der Kostenreduktion durch Produktivitäts-Optimierung der Herstellung erzielt werden. Das Fachgebiet der Halbleiterproduktionstechnik beschäftigt sich mit den entsprechenden Methoden zur Beschreibung, Bewertung und Verbe...
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