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Original title:
Simulationsgestützte Oberflächendiagnostik mittels Speckle-Interferometrie
Translated title:
Simulation Aided Surface Measurement Techniques by means of Speckle Interferometry
Author:
Evanschitzky, Peter
Year:
2002
Document type:
Dissertation
Institution:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Advisor:
Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil.)
Referee:
Koch, Alexander W. (Prof. Dr. habil.); Biebl, Erwin (Prof. Dr. Dr. habil.)
Format:
Text
Language:
de
Subject group:
FEI Feinwerktechnik, Medizintechnik, Technische Optik, Reprographietechnik; MSR Meßtechnik, Steuerungs- und Regelungstechnik, Automation
Keywords:
Oberflächendiagnostik; Speckle; Interferometrie; Interferometer; Simulation; simulationsgestützt; Formvermessung; räumliches Phasenschieben
Translated keywords:
surface measurement techniques; speckle; interferometry; interferometer; simulation; simulation aided; shape measurement; spatial phase-shifting
Controlled terms:
Oberflächenmessung; Simulation; Speckle-Interferometrie
TUM classification:
FEI 462d; MSR 970d
Abstract:
In dieser Arbeit wird ein Modell vorgestellt, welches für die Simulation speckle-interferometrischer Messaufbauten konzipiert und optimiert ist. Durch eine besondere Kombination von geometrischer Optik und Wellenoptik bietet es kurze Simulationszeiten, hohe Flexibilität durch eine Vielzahl einstellbarer Parameter für unterschiedlichste Untersuchungen und gute Übereinstimmung zwischen Simulationsergebnissen, Theorie und Praxis. Weiterhin wird ein Speckle-Interferometer zur Formvermessung technisc...    »
Translated abstract:
In this thesis, a model is presented which is designed and optimized for the simulation of speckle-interferometrical measurement systems. Through a special combination of geometrical optics and physical optics, it offers short simulation times, high flexibility through a great number of variable parameters for most different studies and good agreement between simulation results, theory and practice. Furthermore a speckle interferometer for the shape measurement of technical surfaces is presented...    »
Publication :
Universitätsbibliothek der TU München
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=601526
Date of submission:
11.06.2002
Oral examination:
26.08.2002
File size:
12203572 bytes
Pages:
186
Urn (citeable URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss2002082615537
Last change:
19.06.2007
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