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Titel:

A Study of Bisazido(dimethylamino-propyl)gallium as a Precursor for the OMVPE of Gallium Nitride Thin Films in a Cold-Wall Reactor System under Reduced Pressure

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Devi, A.; Rogge, W.; Wohlfart, A.; Hipler, F.; Becker, H. W.; Fischer, R. A.
Zeitschriftentitel:
Chemical Vapor Deposition
Jahr:
2000
Band / Volume:
6
Heft / Issue:
5
Seitenangaben Beitrag:
245-252
Volltext / DOI:
doi:10.1002/1521-3862(200010)6:5<245::aid-cvde245>3.0.co;2-1
Verlag / Institution:
Wiley
E-ISSN:
0948-19071521-3862
Publikationsdatum:
01.10.2000
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