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- Titel:
MOCVD of ZrO2 and HfO2 Thin Films from Modified Monomeric Precursors
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Patil, U.; Thomas, R.; Milanov, A.; Bhakta, R.; Ehrhart, P.; Waser, R.; Becker, R.; Becker, H.‐W.; Winter, M.; Merz, K.; Fischer, R. A.; Devi, A.
- Zeitschriftentitel:
- Chemical Vapor Deposition
- Jahr:
- 2006
- Band / Volume:
- 12
- Heft / Issue:
- 2-3
- Seitenangaben Beitrag:
- 172-180
- Volltext / DOI:
- doi:10.1002/cvde.200506394
- Verlag / Institution:
- Wiley
- E-ISSN:
- 0948-19071521-3862
- Publikationsdatum:
- 01.03.2006
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