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- Title:
Thermoelastische Dämpfung in MEMS
- Document type:
- Konferenzbeitrag
- Contribution type:
- Vortrag / Präsentation
- Author(s):
- Schiewietz, Daniel
- Book / Congress title:
- microTEC Südwest Clusterkonferenz 2022
- Publisher address:
- Freiburg
- Date of publication:
- 18.05.2022
- Year:
- 2022
- WWW:
- https://www.fzi.de/veranstaltungen/microtec-suedwest-clusterkonferenz-2022/
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