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- Titel:
Thermoelastische Dämpfung in MEMS
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Vortrag / Präsentation
- Autor(en):
- Schiewietz, Daniel
- Kongress- / Buchtitel:
- microTEC Südwest Clusterkonferenz 2022
- Verlagsort:
- Freiburg
- Publikationsdatum:
- 18.05.2022
- Jahr:
- 2022
- WWW:
- https://www.fzi.de/veranstaltungen/microtec-suedwest-clusterkonferenz-2022/
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