This thesis summarizes research and development results of the cooperative project between Technical University of Munich and Texas Instruments Freising on the next generation sensors systems for evaluation of mechanical stress within integrated circuits (ICs) and beyond.
Übersetzte Kurzfassung:
Diese Arbeit fasst die Forschungs- und Entwicklungsergebnisse des Kooperationsprojekts zwischen der Technischen Universität München und Texas Instruments Freising über die Sensorsysteme der nächsten Generation zur Bewertung mechanischer Beanspruchungen innerhalb von integrierten Schaltungen und darüber hinaus zusammen.