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Titel:

Total spectral radiant flux measurements on Xe excimer lamps from 115 nm to 1000 nm

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Autor(en):
Trampert, Klaus E.; Paravia, Mark; Daub, Rüdiger; Heering, Wolfgang
Herausgeber:
Osten, Wolfgang; Gorecki, Christophe; Novak, Erik L.
Kongress- / Buchtitel:
Optical Measurement Systems for Industrial Inspection V
Verlag / Institution:
SPIE
Publikationsdatum:
18.06.2007
Jahr:
2007
Volltext / DOI:
doi:10.1117/12.726104
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