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Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Poster
Autor(en):
Daniel Schiwietz
Titel:
Temperature Dependence of Quality Factors at High Frequencies in MEMS Gyroscopes
Kongress- / Buchtitel:
The 36th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2023)
Publikationsdatum:
16.01.2023
Jahr:
2023
WWW:
https://mems23.org
BibTeX
Vorkommen:
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Nano- und Quantensensorik (Prof. Weig)
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