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Titel:
Versatile Multilevel Soft Lithography Method with Micrometer Alignment Using All-Flexible Rubber Stamps and Moiré Fringe Technique
Dokumenttyp:
Buchbeitrag
Autor(en):
Fakhr, O.; Karrai, K.; Lugli, P.
Buchtitel:
Langmuir
Verlag / Institution:
28
Jahr:
2012
Seiten/Umfang:
4024-4029
Reviewed:
ja
Sprache:
en
DOI:
doi:10.1021/la204377g
Format:
Text
BibTeX
Vorkommen:
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Hochschulbibliographie
2012
Fakultäten
Elektrotechnik und Informationstechnik
Lehrstuhl für Nanoelektronik (Prof. Lugli)
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