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Titel:

Surface Micro Machined Actuators on Piezoelectric Bulk Material

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Textbeitrag / Aufsatz
Autor(en):
Zähringer, S.; Widmann, E.; Schwesinger, N.
Kongress- / Buchtitel:
International Conference on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies (CICMT 2011)
Ausrichter der Konferenz:
IMAPS/ACer
Jahr:
2011
Monat:
Apr
Reviewed:
ja
Sprache:
en
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