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- Titel:
Surface Micro Machined Actuators on Piezoelectric Bulk Material
- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Textbeitrag / Aufsatz
- Autor(en):
- Zähringer, S.; Widmann, E.; Schwesinger, N.
- Kongress- / Buchtitel:
- International Conference on Ceramic Interconnect and Ceramic Microsystems Technologies (CICMT 2011)
- Ausrichter der Konferenz:
- IMAPS/ACer
- Jahr:
- 2011
- Monat:
- Apr
- Reviewed:
- ja
- Sprache:
- en
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