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Document type:
Patent 
Patent number:
DE 10393702 B4 
Inventor:
Kreupl, Franz [DE], Hoffmann, Franz, [DE] 
Title:
Verfahren zum Herstellen einer Speicherzelle, Speicherzelle und Speicherzellen-Anordnung 
Patent office:
DE 
Publication date patent:
15.04.2010 
Year:
2010 
TUM Institution:
Hybride Elektronische Systeme 
Format:
Text 
versions