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Originaltitel:
Multi physics simulation with high temporal range reveals new aspects of laser ablation
Übersetzter Titel:
Multiphysikalische Simulation mit hoher zeitlicher Auflösung enthüllt neue Aspekte der Laser Ablation
Autor:
Sotrop, Jürgen
Jahr:
2021
Dokumenttyp:
Dissertation
Fakultät/School:
Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
Betreuer:
Drews, Michael (Prof. Dr.)
Gutachter:
Lugli, Paolo (Prof. Dr.); Hamacher, Thomas (Prof. Dr.)
Sprache:
en
Fachgebiet:
TEC Technik, Ingenieurwissenschaften (allgemein)
Stichworte:
FEM simulation, laser ablation, lift-off, thin-film, ultra short laser pulses
Übersetzte Stichworte:
FEM simulation, Laser Ablation, lift-off, Dünnfilm, Ultrakurze Laserpulse
TU-Systematik:
TEC 000
Kurzfassung:
Ultra short laser ablation is a common technique for material processing of metal thin films on transparent substrate. Recently, a so-called "confined" laser ablation effect has been reported, where an ultra-short laser pulse (pulse duration 660 fs and wave length 1053 nm) irradiates onto a thin Molybdenum (Mo) film through a transparent glass substrate, resulting in a "lift-off" of the irradiated layer in form of a thin, solid, cylindrical fragment. This effect provides a new and very energy-ef...     »
Übersetzte Kurzfassung:
Die ultrakurze Laserablation ist eine verbreitete Technik zur Materialbearbeitung von Metalldünnfilmen auf transparentem Substrat. Kürzlich wurde ein sogenannter "eingeschlossener" Laserablationseffekt beschrieben, bei dem ein ultrakurzer Laserpuls (Pulsdauer 660 fs und Wellenlänge 1053 nm) durch ein transparentes Glassubstrat auf einem dünnen Molybdän (Mo) -Film strahlt, welcher das Abheben der bestrahlten Schicht in Form eines dünnen, festen, zylindrischen Fragments bewirkt. Dieser Effekt biet...     »
WWW:
https://mediatum.ub.tum.de/?id=1539590
Eingereicht am:
09.04.2020
Mündliche Prüfung:
12.01.2021
Dateigröße:
8758138 bytes
Seiten:
132
Urn (Zitierfähige URL):
https://nbn-resolving.de/urn/resolver.pl?urn:nbn:de:bvb:91-diss-20210112-1539590-1-3
Letzte Änderung:
06.04.2021
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