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Document type:
Patentanmeldung
Patent application number:
DE 10 2015 115 615 A1
Inventor:
Tremmel, A.; Rauscher, M.S.
Assignee:
Tremmel, A.; Rauscher, M.S.
Title:
Vorrichtung und Verfahren zur chromatisch-konfokalen Untersuchung einer Probe
Patent office:
Deutschland
Application number:
DE 10 2015 115 615 A1
Date of application:
16.09.2015
Publication date application:
16.03.2017
Year:
2017
Language:
de
WWW:
https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=pdf&docid=DE102015115615A1
TUM Institution:
Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik
Format:
Text
Ingested:
01.02.2018
Last change:
01.02.2018
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