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- Title:
Vorrichtung und Verfahren zur chromatisch-konfokalen Untersuchung einer Probe
- Document type:
- Patentanmeldung
- Patent application number:
- DE 10 2015 115 615 A1
- Inventor:
- Tremmel, A.; Rauscher, M.S.
- Assignee:
- Tremmel, A.; Rauscher, M.S.
- Patent office:
- Deutschland
- Application number:
- DE 10 2015 115 615 A1
- Date of application:
- 16.09.2015
- Publication date application:
- 16.03.2017
- Year:
- 2017
- Language:
- de
- WWW:
- https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?action=pdf&docid=DE102015115615A1
- TUM Institution:
- Lehrstuhl für Messsystem- und Sensortechnik
- Format:
- Text
- Ingested:
- 01.02.2018
- Last change:
- 01.02.2018
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