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- Titel:
Height control for small periodic structures using x-ray radiography
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Schüttler, Markus; Meyer, Pascal; Schaff, Florian; Yaroshenko, Andre; Kunka, Danays; Besser, Heino; Pfeiffer, Franz; Mohr, Jürgen
- Zeitschriftentitel:
- Measurement Science and Technology
- Jahr:
- 2016
- Band / Volume:
- 27
- Seitenangaben Beitrag:
- 025015
- Volltext / DOI:
- doi:10.1088/0957-0233/27/2/025015
- Verlag / Institution:
- IOP Publishing
- E-ISSN:
- 0957-02331361-6501
- Publikationsdatum:
- 11.01.2016
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