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Titel:

Height control for small periodic structures using x-ray radiography

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Schüttler, Markus; Meyer, Pascal; Schaff, Florian; Yaroshenko, Andre; Kunka, Danays; Besser, Heino; Pfeiffer, Franz; Mohr, Jürgen
Zeitschriftentitel:
Measurement Science and Technology
Jahr:
2016
Band / Volume:
27
Seitenangaben Beitrag:
025015
Volltext / DOI:
doi:10.1088/0957-0233/27/2/025015
Verlag / Institution:
IOP Publishing
E-ISSN:
0957-02331361-6501
Publikationsdatum:
11.01.2016
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