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Titel:

Geometric Tuning of Stress in Predisplaced Silicon Nitride Resonators

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Hoch, David; Yao, Xiong; Poot, Menno
Zeitschriftentitel:
Nano Letters
Jahr:
2022
Band / Volume:
22
Heft / Issue:
10
Seitenangaben Beitrag:
4013-4019
Volltext / DOI:
doi:10.1021/acs.nanolett.2c00613
Verlag / Institution:
American Chemical Society (ACS)
E-ISSN:
1530-69841530-6992
Publikationsdatum:
05.05.2022
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