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Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Hoch, David; Haas, Kevin-Jeremy; Moller, Leopold; Sommer, Timo; Soubelet, Pedro; Finley, Jonathan J.; Poot, Menno
Titel:
Efficient Optomechanical Mode-Shape Mapping of Micromechanical Devices
Zeitschriftentitel:
Micromachines
Jahr:
2021
Band / Volume:
12
Heft / Issue:
8
Seitenangaben Beitrag:
880
Volltext / DOI:
doi:10.3390/mi12080880
Verlag / Institution:
MDPI AG
E-ISSN:
2072-666X
Publikationsdatum:
27.07.2021
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