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- Titel:
Geometric Tuning of Stress in Predisplaced Silicon Nitride Resonators
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Hoch, David; Yao, Xiong; Poot, Menno
- Zeitschriftentitel:
- Nano Letters
- Jahr:
- 2022
- Band / Volume:
- 22
- Heft / Issue:
- 10
- Seitenangaben Beitrag:
- 4013-4019
- Volltext / DOI:
- doi:10.1021/acs.nanolett.2c00613
- Verlag / Institution:
- American Chemical Society (ACS)
- E-ISSN:
- 1530-69841530-6992
- Publikationsdatum:
- 05.05.2022
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