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- Titel:
Growth of aluminum nitride on a silicon nitride substrate for hybrid photonic circuits
- Dokumenttyp:
- Zeitschriftenaufsatz
- Autor(en):
- Terrasanta, G; Müller, M; Sommer, T; Geprägs, S; Gross, R; Althammer, M; Poot, M
- Zeitschriftentitel:
- Materials for Quantum Technology
- Jahr:
- 2021
- Band / Volume:
- 1
- Heft / Issue:
- 2
- Seitenangaben Beitrag:
- 021002
- Volltext / DOI:
- doi:10.1088/2633-4356/ac08ed
- Verlag / Institution:
- IOP Publishing
- E-ISSN:
- 2633-4356
- Publikationsdatum:
- 01.06.2021
BibTeX
Vorkommen:
- mediaTUM GesamtbestandEinrichtungenForschungszentrenInstitute for Advanced Study (IAS)Research AreasResearch Area: Surface, Interface, Nano- and Quantum ScienceFocus Group: Quantum Technologies