Benutzer: Gast  Login
Titel:

Growth of aluminum nitride on a silicon nitride substrate for hybrid photonic circuits

Dokumenttyp:
Zeitschriftenaufsatz
Autor(en):
Terrasanta, G; Müller, M; Sommer, T; Geprägs, S; Gross, R; Althammer, M; Poot, M
Zeitschriftentitel:
Materials for Quantum Technology
Jahr:
2021
Band / Volume:
1
Heft / Issue:
2
Seitenangaben Beitrag:
021002
Volltext / DOI:
doi:10.1088/2633-4356/ac08ed
Verlag / Institution:
IOP Publishing
E-ISSN:
2633-4356
Publikationsdatum:
01.06.2021
 BibTeX