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- Titel:
Characteriztion of Convex Corner Compensation for Bent V-Grooves in Anisotropic Silicon KOH Etching
- Dokumenttyp:
- Report / Forschungsbericht
- Autor(en):
- Yong, T. K.
- Beauftragende Einrichtung:
- Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme
- Jahr:
- 2014
- Jahr / Monat:
- 2014-12
- Format:
- Text
BibTeX