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- Titel:
Evaluation of the Mechanical Frequency Behavior of Micro Membrane Actuators
- Dokumenttyp:
- Report / Forschungsbericht
- Autor(en):
- Chao Yi, L.
- Beauftragende Einrichtung:
- Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme
- Jahr:
- 2014
- Jahr / Monat:
- 2014-12
- Format:
- Text
BibTeX