- Titel:
Measurement Set Up to Characterize The Separation Force for PZT-Silicon Assemblies
- Dokumenttyp:
- Report / Forschungsbericht
- Autor(en):
- Sali, Y.
- Beauftragende Einrichtung:
- Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme
- Jahr:
- 2013
- Format:
- Text
- BibTeX