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- Dokumenttyp:
- Konferenzbeitrag
- Art des Konferenzbeitrags:
- Poster
- Autor(en):
- Zähringer, S.; Purr, J.; Schwesinger, N.
- Titel:
- Der Einfluss verschiedener Randeinspannungen auf die Verformung oberflächen- mikrostrukturierter piezoelektrischer Mikromembranantriebe
- Kongress- / Buchtitel:
- MikroSystemTechnik Kongress 2013
- Jahr:
- 2013
- Jahr / Monat:
- 2013-10
- Sprache:
- de
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