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- Titel:
Optimization of process technology for the fabrication of a novel piezoelectric actuator
- Dokumenttyp:
- Report / Forschungsbericht
- Autor(en):
- Goh, Z.
- Beauftragende Einrichtung:
- Fachgebiet Mikrostrukturierte Mechatronische Systeme
- Jahr:
- 2013
- Jahr / Monat:
- 2013-03
- Format:
- Text
BibTeX