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Titel:

Simulation of thick film PZT actuators with interdigitated electrodes

Dokumenttyp:
Konferenzbeitrag
Art des Konferenzbeitrags:
Textbeitrag / Aufsatz
Autor(en):
Zaki, M.; Zähringer, S.; Schwesinger, N.
Seitenangaben Beitrag:
38/1-8
Kongress- / Buchtitel:
Smart Sensors, Actuators, and MEMS VI
Band / Teilband / Volume:
Proc. SPIE 8763
Ausrichter der Konferenz:
SPIE
Konferenzort:
Grenoble
Verlag / Institution:
SPIE
Jahr:
2013
Monat:
Apr
Seiten:
8
Reviewed:
ja
Sprache:
en
Erscheinungsform:
WWW
Volltext / DOI:
doi:10.1117/12.2017411
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